シングルAu錘3軸差動MEMS加速度センサの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS18017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): A Tri-axis Differential MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass

著者名: 乙部 翔太(東京工業大学),新島 宏文(東京工業大学),高安 基大(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),小西 敏文(NTT-AT),佐布 晃昭(NTT-AT),飯田 慎一(NTT-AT),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Shota Otobe(Tokyo Institute of Technorogy),Hirofumi Niijima(Tokyo Institute of Technorogy),Motohiro Takayasu(Tokyo Institute of Technorogy),Daisuke Yamane(Tokyo Institute of Technorogy),Hiroyuki Ito(Tokyo Institute of Technorogy),Noboru Ishihara(Tokyo Institute of Technorogy),Katsuyuki Machida(Tokyo Institute of Technorogy),Toshifumi Konishi(NTT-AT),Teruaki Safu(NTT-AT),Shin-ichi Iida(NTT-AT),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ＭＥＭＳ|加速度センサ|差動|シングルＡｕ錘|積層メタル技術|MEMS|accelerometer|differential|Single Au Proof Mass|multi-layer metal technology

要約(日本語): Microelectromechanical Systems（MEMS）加速度センサの更なる高感度化により、病気早期発見や宇宙環境計測などの新規応用分野開拓が可能である。我々はこれまで、1 G（G = 9.8 m/s2）以下を検出可能なAu錘MEMS加速度センサを報告してきた。今回は、単一Au錘を用いた3軸差動MEMS加速度センサのBrownian Noiseを実験的に評価したので報告する。

要約(英語): MEMS accelerometers are widely used for various applications, and can realize new applications by achieving high resolution. In this work, we develop a single Au proof-mass differential MEMS accelerometer fabricated by multi-layer metal technology. The Brownian noise of the device is experimentally evaluated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,500 Kバイト