短波長検出に向けたフィルタフリー蛍光センサの 検出電流のシミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS18021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2018/07/13

タイトル(英語): Detection current simulation of a filter-free fluorescence sensor aiming for short wavelength detection

著者名: 手島 拓哉(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),岩田 達哉(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takuya Teshima(Toyohashi University of Technology),Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology),Tatsuya Iwata(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 蛍光|バイオセンサ|フィルターフリー|ＩＴＯ|ポリシリコン|短波長|fluorescence|bio-sensor|filter-free|ITO|poly-silicon|short wavelength

要約(日本語): 蛍光検出は医療や生化学分野で利用されている。蛍光検出装置であるフィルタフリー蛍光センサはフォトゲート構造を用いて二つ以上の光の波長を同時に検出する利点がある。 センサのフォトゲートは短波長の光を透過しにくいポリシリコンを用いているため、短波長に対する感度が低くなる。 本研究では短波長の感度向上のため、透明電極であるITOを用いたセンサ構造を提案し、短波長の光に対する検出電流を解析した結果を報告する。

要約(英語): Fluorescence detection is widely used in medical and biochemical fields. The filter-free fluorescence sensor has a photogate structure and multiple wavelengths can be simultaneously detected. In this research, we propose a sensor structure using ITO for improvement of short wavelength sensitivity, and analyze the detection current for short wavelength light.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,422 Kバイト