FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS18026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2018/07/13

タイトル(英語): Resonant-type MEMS magnetic sensor with FePd magneto-strictive and PZT piezo-electric films

著者名: 岡田 尚樹(山形大学),鈴木 広大(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Naoki Okada(Yamagata University),Koudai Suzuki(Yamagata University),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: 共振型センサ|磁歪膜|ＰＺＴ膜|ブリッジ共振子|Resonant-type sensor|Magneto-strictive film|PZT film|Bridge resonator

要約(日本語): FePd磁歪膜による構造ひずみをPZT圧電膜/Siブリッジ型共振子の共振変化によって検出するMEMS型磁気センサを作製した。ゾルゲル法によりPZTを厚膜化(1μm)し、大きな振幅を得られる構造設計にすることで、搭載したPZT膜で振動振幅を検出可能になった。外部磁束50ｍTの印加によって共振周波数が17.5 kHzから190 Hzの低下を示し、磁気センシングへの適用可能性を示した。

要約(英語): A resonant-type MEMS magnetic sensor with FePd magneto-strictive and PZT piezo-electric films was fabricated. By employing of thick PZT sol-gel deposition and mechanical design optimization, resonant vibration amplitude was successfully detected by the PZT film on the resonator bridge. The sensor showed resonant frequency decrease with magnetic flux application(190Hz/50mT).

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,347 Kバイト