数MHz帯にバンドギャップを持つフォノニック結晶の作製と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/01

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of phononic crystals with a band gap of few MHz order

著者名: 頓所 侑夏(東北大学),猪股 直生(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Yuka Tonsho(Tohoku University),Naoki Inomata(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University)

キーワード: フォノニック結晶|ＭＥＭＳ|バンドギャップ|phononic crystal|MEMS|Band gap

要約(日本語): 本研究は,数MHz帯のバンドギャップ周波数を有するフォノニック結晶体の作製とその周期パターン構造依存性の評価を目的とし，作製した結晶体を理論的実験的に評価した．周期パターン構造によるバンドギャップの有限要素解析を行い， さらに，2～10MHz帯にバンドギャップ帯域を有するシリコンフォノニック結晶体を，微細加工技術を用いて作製した．作製した結晶の振動計測を介してバンドギャップ周波数を実験的に評価した．

要約(英語): In this study, we fabricated a phononic crystal with a band gap frequency of few MHz order and evaluated their dependence on the periodic structure patterns. The silicon phononic crystal was designed based on the theoretical analysis, and fabricated using microfabrication techniques. Then, the bang gap of the fabricated samples was experimentally evaluated using vibration measurement.

原稿種別: 日本語

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