波長可変MEMS-VCSELにおけるMEMS凹面鏡の数学的評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/01

タイトル(英語): Mathematical evaluation of concave shape of MEMS mirror for tunable MEMS-VCSEL

著者名: 北川 雄真(横河電機株式会社),鈴木 雄太(横河電機株式会社),手塚 信一郎(横河電機株式会社)

著者名(英語): Yuma Kitagawa(Yokogawa electric corporation),Yuta Suzuki(Yokogawa electric corporation),Shin-ichiro Teduka(Yokogawa electric corporation)

キーワード: ＭＥＭＳ|ＶＣＳＥＬ|微小共振器|凹面鏡|ＣＭＰ|法曲率|MEMS|VCSEL|microcavity|concave mirror|CMP|normal curvature

要約(日本語): 微小共振器レーザの重要な構成要素の一つに鏡が挙げられる。我々の開発したMEMS可動鏡と面発光レーザ(VCSEL)を組み合わせた波長可変MEMS-VCSELでは回折損失の低減のため鏡を凹面加工している。今回、鏡形状の3次元評価により凹面鏡最下部において「主曲率を与える方向は直交する」という微分幾何学のオイラーの定理が確認できたので報告する。これにより凹面鏡の任意方向の法曲率について推定が可能になる。

要約(英語): We developed a tunable laser, MEMS-VCSEL, where the shape of the MEMS mirror was concave to reduce diffraction loss. Euler’s theorem in differential geometry, “the directions of the principal curvatures are perpendicular”, was confirmed at the bottom of the mirror. This result enables us to estimate the normal curvature of the mirror in any direction.

原稿種別: 日本語

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