ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/01

タイトル(英語): Photolithography-based processing of the mold for metal scale of rotary encoder

著者名: 山田 雄大(豊田工業大学),閻 紀旺(慶應義塾大学),佐々木 実(豊田工業大学)

著者名(英語): Yuta Yamada(Toyota Technical Institute),Jiwang Yan(Keio University),Minoru Sasaki(Toyota Technical Institute)

キーワード: ３次元フォトリソグラフィ|プレス加工|ロータリーエンコーダ|金型|イオンミリング|一体化|3D photolithography|Press processing|Rotary encoder|Mold|Ion milling|Integration

要約(日本語): ロータリーエンコーダはモータ回転角を計測するセンサで、ロボットハンドでは小型化が特に求められる。高精度エンコーダのスケールは主にガラス製であるが、金属にできればモータ回転部品と熱膨張率が同じにでき、小型化と取り付けに有利となる。本研究では新しく、立体へのフォトリソグラフィを金型加工に導入する。微細スケール格子をプレス加工によって転写し、軸に取り付けし易いハブ付き一体部品の金属スケール実現を目指す。

要約(英語): Rotary encoders are sensors that measure the angle of motors. High-precision encoders mainly use the glass scales. If they become the metal, coefficient of thermal expansion becomes same with other parts. Integration becomes easier. Here, molds with fine gratings are prepared for the metal scales with hub using 3D photolithography.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,916 Kバイト