濡れ性可変ダイアフラム上へのPDMSマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/01

タイトル(英語): Fabrication of mushroom-shape PDMS nanopillar array on a wettability variable diaphragm

著者名: 村上 雄志(山形大学),三井 秀之(山形大学),佐藤 翼(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Yuji Murakami(Yamagata University),Hideyuki Mitui(Yamagata University),Tubasa Sato(Yamagata University),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: ＰＤＭＳダイアフラム|マッシュルーム型|ＰＤＭＳナノピラーアレイ|撥水性|PDMS diaphragm|mushroom-shape|PDMS nanopillar array|hydrophobicity

要約(日本語): マイクロチップ上での微細な液滴の操作を目指し、チップ表面が微細な凹凸と平坦に切り替わるPDMSデバイスのダイアフラム上に、撥水性の向上を目指してのマッシュルーム型ナノピラー（高さ200 nm、幅400 nm）の形成手法を検討した。EBレジスト孔パターン下の犠牲層をサイドエッチングし、マッシュルーム型のモールドパターンを形成し、液状のPDMSを埋め込み硬化する条件を最適化し、微細な孔パターンにPDMSを良好に充填することを可能にした。

要約(英語): To improve the hydrophobicity of deformable PDMS diaphragm, fabrication processes of mushroom-shape PDMS nanopillar array (200nm H,400nm W) on a thin PDMS diaphragm was developed based on EB lithographed hole patterning, under-cut at the hole bottom, PDMS re-tilling and hardening processes.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,170 Kバイト