3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/02

タイトル(英語): A Study on Electrodes Structure for 3-Axis Au Proof-Mass MEMS Accelerometer

著者名: 市川 崇志(東京工業大学),新島 宏文(東京工業大学),古賀 達也(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),飯田 慎一(NTT-AT),伊藤 浩之(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学),曽根 正人(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): takashi ichikawa(Tokyo Tech),Hirofumi Niijima(Tokyo Tech),Tatsuya Koga(Tokyo Tech),Daisuke Yamane(Tokyo Tech),Shin-ichi Iida(NTT-AT),Hiroyuki Ito(Tokyo Tech),Noboru Ishihara(Tokyo Tech),Masato Sone(Tokyo Tech),Katsuyuki Machida(Tokyo Tech),Kazuya Masu(Tokyo Tech)

キーワード: ＭＥＭＳ|加速度センサ|積層メタル|高感度|ブラウニアンノイズ|金メッキ|MEMS|accelerometer|multi-layer|ighly sensitive|Brownian noise|gold electroplating deposition

要約(日本語): 本論文は、高感度な3 軸 MEMS 加速度センサを実現するために検出電極構造を検討結果について報告する。これまで積層メタル技術を用いて高密度な Au を錘に採用し、ブラウニアンノイズの低減により高分解能（1 mG以下検出）な 1 軸 MEMS 加速度センサを提案し、検討してきた。（G：重力加速度）今回、3 軸 MEMS 加速度センサのための平行平板型電極を試作、検討を行い、デバイス構造が感度に及ぼす影響を解析し、比較検討を行ったので報告する。

要約(英語): This paper describes the study of the electrode structure for tri-axis MEMS accelerometer. We have developed the highly sensitive MEMS accelerometer with high density single proof-mass to reduce the Brownian noise using the multi-layer technology. This paper shows the comparison with analysis and fabrication results.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,218 Kバイト