触覚ディスプレイ用のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の一括形成と剛性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/02

タイトル(英語): Batch-fabrication of Ni film bias spring with SU-8 micro-mechanism for tactile display and characterization of stiffness

著者名: 辻 一樹(山形大学),徐 嘉楽(山形大学),阿部 喜(東海理化),清水 智巨(東海理化),長谷川 博康(東海理化),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Kazuki Tsuji(Yamagata University),Jiale Xu(Yamagata University),konomu Abe(Tokai Rika),Tomomi Shimizu(Tokai Rika),Hiroyasu Hasegawa(Tokai Rika),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: Ｎｉ膜|バイアスばねアレイ|ＳＵ－８|マイクロピン|触覚ディスプレイ|Ni film|Bias spring array|SU-8|Micro-pin|Tactile display

要約(日本語): 形状記憶合金膜触覚ディスプレイ用に、Niスパッタ膜をアレイ状のばね形状に加工し（5×5、ピッチ１～2m）、マイクロピンやキャップ構造を厚膜レジストSU-8のリソグラフィで形成後に基板から剥離するプロセスを考案し、耐久性の高いNi膜平型ばねとマイクロピン等の一括形成を可能にした。数100μmの撓みでも破断や塑性変形せず設計通りの剛性で変形可能であり、触覚ディスプレイへの適用の見通しを得た。

要約(英語): For tactile display with shape memory alloy actuator, batch fabrication process of Ni film bias spring with SU-8 micro-pin and frame structure was proposed. The completed Ni film bias spring was sufficiently tough without fracture and plastic deformation when it was deflected to several hundreds of microns.

原稿種別: 日本語

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