高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS19033

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2019/07/02

タイトル(英語): Fabrication of SMA thick film actuator array for high power tactile display

著者名: 徐 嘉楽(山形大学),木村 友翼(山形大学),辻 一樹(山形大学),阿部 喜(東海理化),清水 智巨(東海理化),長谷川 博康(東海理化),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Jiale Xu(Yamagata University),Yusuke Kimura(Yamagata University),Kazuki Tsuji(Yamagata University),Konomu Abe(Tokai Rika CO. LTD),Tomomi Shimizu(Tokai Rika CO. LTD),Hiroyasu Hasegawa(Tokai Rika CO. LTD),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: 触覚ディスプレイ|高出力|形状記憶合金|薄膜|マイクロアクチュエータアレイ|Tactile display|High power|Shape memory alloy|Thick film|Micro actuator alloy

要約(日本語): 振動刺激を高出力で提示する触覚ディスプレイを目指し、MEMS型の平板型SMA厚膜アクチュエータアレイを設計および作製した(5×5, 2 mmピッチ)。根元部の遮熱性を図り、マイクロヒーター配線の疎密を調整することで、アクチュエータパターン内の温度の均一性が向上した。直流通電加熱では発生力38~40 mNが得られ、皮膚の感度が高いとされる15Hz以上では1/4程度まで低下するが、人間の知覚限界の数倍の発生力を得られる見通しを得た。

要約(英語): MEMS-type SMA thick film actuator array was designed and fabricated to provide high power vibrational stimuli to finger skin (5×5, 2 mm pitch). Distribution of micro heater pattern and thermal isolation were optimized. It generated 38~40 mN force by dc current heating. By pulse driving above 15 Hz, highly sensitive frequency for human skin, sufficient force several times higher than the human perception limit was obtained.

原稿種別: 日本語

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