1 MHz型空中超音波マイクロアレイセンサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20020

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Development of Micro Array Sensor for aerial ultrasonic of 1 MHz

著者名: 田中 恒久(大阪産業技術研究所),中山 健吾(大阪産業技術研究所),村上 修一(大阪産業技術研究所)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Kengo Nakayama(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Shuichi Murakami(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)

キーワード: センサ|ＭＥＭＳ|超音波|Sensor|MEMS|Ultrasonic

要約(日本語): 電子部品の検査に空中超音波を使用した非接触型物体内部検査装置が使用されている。検査分解能の向上と検査時間の短縮のために、メガヘルツ帯の空中超音波が検知可能なアレイセンサが求められている。本研究ではMEMS技術を用いて1 MHzの空中超音波を検出可能な超音波マイクロアレイセンサの開発を行った。検出感度向上の課題を解決するために、超音波センサの構造を新たに考案した。新型の超音波アレイセンサの試作実験を行った結果、従来型センサより検出感度が約4倍向上することが解った。新型センサは、試験用フィルムを透過した1 M

要約(英語): We developed a MEMS ultrasonic array sensor that is capable of detecting 1 MHz airborne ultrasonic waves for use in devices for inspecting the interior of objects. The sensor is an array of vibrating membranes, each consisting of a metal lower electrode, a platinum upper electrode, and a polymer ferroelectric layer between them. In this study, two kinds of electrode materials, aluminum or gold, were used for the lower electrode to investigate how they affect the characteristics of such high resonant-frequency sensors. The sensor using aluminum showed about four times better sensitivity than that using gold.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,100 Kバイト