単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): A Study on Segmented-Capacitive-Detection Double Electrodes for single an Au Proof Mass 3-axis MEMS Accelerometer

著者名: 市川 崇志(東京工業大学),古賀 達也(東京工業大学),飯田 慎一(NTT－AT),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学)

著者名(英語): Takashi Ichikawa(Tokyo Institute of Technology),Tatsuya Koga(Tokyo Institute of Technology),Shin-ichi Iida(NTT Advanced Technology Corporation),Noboru Ishihara(Tokyo Institute of Technology),Katsuyuki Machida(Tokyo Institute of Technology),Kazuya Masu(Tok

キーワード: ＭＥＭＳ|加速度センサ|分割容量検出方式|Ａｕ錘|高感度|MEMS|Accelerometer|Segmented-capacitive-detection|Au proof mass|High sensitivity

要約(日本語): 本論文は、小型、高感度化を目的に新たに提案した電極構造による単一Au錘3軸静電容量型MEMS加速度センサについて記述している。我々は、X、Y軸検出電極として新しい分割容量検出方式を提案してきた。一方、面外方向の加速度に対する感度に比べ面内方向の感度が一桁程度低いという課題があった。今回、感度均一化のために錘上部にも電極を配置する2重電極を考案し、解析式の導出、デバイスの試作、評価を行った。その結果、提案電極を用いることで単一Au錘3軸加速度センサの感度均一化の見通しを得た。

要約(英語): This paper describes a novel detection electrode for a single Au proof-mass 3-axis MEMS (microelectromechanical systems) accelerometer. We propose a SCDDE (segmented capacitance detection double electrodes) as the detection electrode. Applying the SCDDE to the 3-axis MEMS accelerometer, the experimental results show that the proposed SCDDE has a potential of the small and highly sensitive 3-axis MEMS accelerometer.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,748 Kバイト