MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Consideration of Drift Characteristics of Output Signal due to Temperature Change of MEMS Tactile Sensor

著者名: 河内 彪博(立命館大学),川田 智晴(立命館大学),岡田 一志(立命館大学),寒川 雅之(新潟大学),野間 春生(立命館大学)

著者名(英語): Takehiro Kawauchi(Ritsumeikan University),Chisei Kawada(Ritsumeikan University),Kazushi Okada(Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa(Niigata University),Haruo Noma(Ritsumeikan University)

キーワード: 触覚センサ|温度特性|ＭＥＭＳ|ＮｉＣｒ|補正|ドリフト|Tactile Sensor|Temperature Characteristics|MEMS|NiCr|Compensation|Drift

要約(日本語): MEMS触覚センサに対して人やモノが外力を与える際に，それらがセンサに接触することで生じる温度変化によってセンサ内部のNiCr抵抗の抵抗値が変動し、計測したひずみゲージの基準電圧がドリフトする。本稿ではそれらの現象が外力計測に与える影響を計測し、外部の影響で温度が変化したとしても安定して外力を計測するための補正方法を提案する。

要約(英語): Our MEMS tactile sensor measures the force by touching target objects. As a result, the reference voltage of the NiCr strain gage in the sensor drifts due to the temperature change. we measure the thermal behavior and propose a correction method to measure the external force stably canceling this effect.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,050 Kバイト