小型化・低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20028

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Basic Study on Electrostatic Tactile Display with Thin Film Insulator of Resin for Miniaturization and Low Voltage

著者名: 佐藤 淳喜(新潟大学),本間 遼(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Junki Satoh(Niigata University),Haruka Homma(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚ディスプレイ|静電気力|摩擦力|低電圧化|小型化|絶縁薄膜|Tactile Display|Electrostatic Force|Frictional Force|Low Voltage|Miniaturization|Thin Film Insulator

要約(日本語): 触感を提示する触覚ディスプレイのうち、静電気力を利用した静電触覚ディスプレイは特に摩擦力の提示に適しているが、数百Vという高電圧が必要なことや素子のサイズに課題がある。本研究では静電気力を与えるための絶縁体としてスピンコートにより作製でき、フォトリソグラフィとエッチングによりパターニング可能な樹脂薄膜を用いることで、低電圧化を可能とし、触覚ディスプレイの微細化の可能性を示した。

要約(英語): To present frictional tactile sensation, electrostatic tactile displays using electrostatic force are suitable, however, they have the problem of requiring voltage of several hundred kV and their size. In this study, a thin resin film is employed as an insulator for applying electrostatic force, which can be formed by spin coating and patterned by photolithography and etching. We demonstrate the possibility of presentation of electrostatic force by lower voltage and miniaturization of tactile display.

原稿種別: 日本語

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