外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): A Study of the Miniaturization of Off-Chip Electret MEMS Energy Harvesters

著者名: 川島 康介(立命館大学),澤田 宗興(立命館大学),田村 健太郎(立命館大学),端山 航平(立命館大学),山根 大輔(立命館大学)

著者名(英語): Kawashima Kosuke(Ritsumeikan University),Sawada Muneoki(Ritsumeikan University),Tamura Kentarou(Ritsumeikan University),Hayama Kouhei(Ritsumeikan University),Yamane Daisuke(Ritsumeikan University)

キーワード: エレクトレット|ＭＥＭＳ|エナジーハーベスタ|高密度材料|小型化|シリコン|electret|MEMS|energy harvester|high-density material|miniaturization|silicon

要約(日本語): 本論文では,外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化に向けて,高密度材料をデバイス可動部に適用して面積あたりの発電出力が増加することが分かった。さらに,デバイス機械特性を解析した結果,提案するMEMSデバイス構造の実現見通しを得た。

要約(英語): In this paper,we present a method to downscale off-chip electret MEMS energy harvesters. We employ high-density materials for the moving parts,which would be useful to achieve high output power in a small footprint.Analysis results indicate that the proposed device could be realized by MEMS fabrication processes.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,288 Kバイト