チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20033

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Modeling and evaluation of a highly durable titanium cantilever MEMS force sensor

著者名: 野澤 慎児(新潟大学),大塚 善久(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Shinji Nozawa(Niigata University),Yoshihisa Otsuka(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: チタンＭＥＭＳ|チタン|フォースセンサ|カンチレバー|タフＭＥＭＳ|Ti-MEMS|Titanium|Force sensor|Cantilever|Tough-MEMS

要約(日本語): MEMS力覚センサには主にシリコンが材料として使用されるが,耐衝撃性が低い課題がある.そこで,本研究では,高耐久性MEMS力覚センサの開発を目指して,チタン製カンチレバーを用いたモデル作製と評価実験を行った.本センサでは,カンチレバー上にひずみゲージを作製し,垂直荷重に対する抵抗変化率を測定した.さらにシリコン製との耐久性の比較を行った.その結果,シリコンより高い耐久性が示された.

要約(英語): We fabricated a insulating film and a strain gauge on the macro-size titanium cantilever, and evaluated the sensor response. We compared the durability of the fabricated sensor with that of a silicon-based sensor. As a result, a highly sensitive response and higher durability were realized by the titanium sensor.

原稿種別: 日本語

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