背面光照射による表面プラズモン共鳴のためのMEMS回折格子構造

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20035

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): MEMS grating structure for excitation of surface plasmon resonance by backside illumination

著者名: 齋藤 祥基(電気通信大学),菅 哲朗(電気通信大学)

著者名(英語): Saito Yoshiki(The University of Electro-Communications),Kan Tetsuo(The University of Electro-Communications)

キーワード: 表面プラズモン共鳴|電流検出|背面照射|Surface Plasmon Resonance|Electrical Detection|Backside Illumination

要約(日本語): 表面プラズモン共鳴センサは高感度ラベルフリー化学量センサとして注目されている。従来センシングに光学系が必要で大型だったが、近年、半導体を用いた表面プラズモン共鳴の電流検出による小型センサ化の研究が進められている。しかし、半導体/MEMSプロセスで構成できる構造では、背面からの励起光導入で表面プラズモン共鳴の高効率励起が実現できていない。そこで、MEMSプロセス親和的な表面プラズモン共鳴の励起構造を報告する。

要約(英語): Surface plasmon resonance sensor is a promising way to construct highly sensitive chemical sensor. In this paper, we report on a MEMS based grating structure for effective excitation of surface plasmon by back side illumination configuration, which will contribute to miniaturizing the surface plasmon resonance based sensor.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,549 Kバイト