環境試験チャンバ内におけるマイクロスケールシリコンの強度測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20042

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Strength measurement of micro-scale silicon in environmental test chamber

著者名: 嶋村 健一郎(立命館大学),安藤 妙子(立命館大学)

著者名(英語): Kenichiro Shimamura(Ritsumeikan University),Taeko Ando(Ritsumeikan University)

キーワード: マイクロスケール|シリコン|環境|室温|加熱環境|光てこ|micro|silicon|environment|room temperature|heating environment|optical levar

要約(日本語): 現在，シリコンを主材料としたMEMSデバイスは高温や真空中などの環境で活躍しており、使用環境での特性の把握は重要である。しかし、環境を変化させたマイクロスケール材料評価の研究報告は少ない。本研究では、様々な環境下でマイクロスケールシリコンの強度測定ができる引張試験システムの開発を行い、それぞれの環境下での再現性を確認した。

要約(英語): This study reports on strength measurement of micro-scale silicon tested in environmental chamber. We have developed a testing system that can realize tensile tests at microscale in the various experimental environments. It was found that the results were different between the room temperature environment and the heating environment, and the reproducibility was confirmed in each environment.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,597 Kバイト