フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20045

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Fabrication of high-accuracy rotary metal scale using the press die processed by photolithography

著者名: 山田 雄大(豊田工業大学),佐々木 実(豊田工業大学)

著者名(英語): Yuta Yamada(Toyota Technological Institute),Minoru Sasaki(Toyota Technological Institute)

キーワード: ３次元フォトリソグラフィ|プレス加工|ロータリーエンコーダ|金型|ロボットハンド|小型モータ|three-dimensional photolithography|press|rotary encoder|die|robot hand|small motor

要約(日本語): ロータリーエンコーダはモータ回転角を計測するセンサで、ロボットハンド用では小型化が必須である。現在、高精度スケールはガラス製であるが、金属になればモータ回転軸と熱膨張率が同一で、取り付けし易く、堅牢となる。本研究では昨年度から改良し、立体へのフォトリソグラフィ技術を応用し、最小1.1?m幅のスケール格子を金型に製作した。更に、プレス加工により、軸に取り付けし易いハブ一体型の金属スケールを試作した。

要約(英語): Rotary encoders are sensors that measure the motor rotation angle. High-precision encoders use fragile glass scales. If they become robust metal ones, the thermal expansion becomes same with other parts. Assembly becomes easier. Here, the dies with fine gratings are prepared for the metal scales with hub using 3D photolithography.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,566 Kバイト