MEMS技術を応用した小型ガスクロマトグラフの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS20050,CHS20023,BMS20034

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Development of a miniaturized gas chromatograph utilizing MEMS technology

著者名: 叶井 正樹(島津製作所)

著者名(英語): Masaki Kanai(Shimadzu Corporation)

キーワード: ＭＥＭＳ|ガスクロマトグラフ（ＧＣ）|分離カラム|小型化|集積化|MEMS|gas chromatograph(GC)|separation column|miniaturization|integration

要約(日本語): MEMS技術の実用化事例として、小型ガスクロマトグラフの要素技術開発から商品化までの取り組みについて紹介する。

要約(英語): As an example of the practical application of MEMS technology, we will introduce our efforts about the development of miniaturized gas chromatograph and its commercialization.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,276 Kバイト