サファイア隔膜真空計の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MZK15001

グループ名: 【D】産業応用部門 ものづくり研究会

発行日: 2015/03/20

タイトル(英語): Development of a Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge

著者名: 長田 光彦(アズビル)

著者名(英語): Nagata Mitsuhiko(Azibil Corporation)

キーワード: サファイア|隔膜真空計|耐食性|Sapphire|Capacitance Diaphragm Gauge|Corrosion resistance

要約(日本語): センサ材料として単結晶サファイアを使用し高精度，高信頼性，小形，軽量化を実現した静電容量式サファイア隔膜真空計を開発した。単結晶サファイアは極めて高い耐食性，耐熱性を有し，また優れた機械的特性も有しているため，腐食性ガスや高温環境下でも高精度であり長期安定性の優れた真空計を実現した。またマイクロプロセッサを用いた信号処理により，直線性に優れ温度特性の少ない高精度な計測を実現している。

要約(英語): Using single-crystal sapphire as the sensor material, we have developed Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge, which is high-precision, highly-reliable, small-sized and light weight.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 711 Kバイト