レーザーMBE法による機能性セラミックス薄膜の室温エピタキシャル成長

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD05003

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Room-Temperature Epitaxial Growth of Functional Ceramics Thin Films by Laser MBE

著者名: 松田 晃史(東京工業大学),舘田 典浩(東京工業大学),秋葉周作(東京工業大学),原和香奈(東京工業大学),佐々木敦(東京工業大学),吉本護(東京工業大学)

著者名(英語): Akifumi Matsuda|Norihiro Tateda|Shusaku Akiba|Wakana Hara|Atsushi Sasaki|Mamoru Yoshimoto

キーワード: 機能性薄膜|室温エピタキシャル成長|レーザーMBE|サファイア|窒化アルミニウム

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 826 Kバイト