極短パルスレーザーを用いたフッ素樹脂のアブレーション加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD05005

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Ultrashort-Pulse Laser Ablation of Fluoropolymer.

著者名: 三島 英彦(住友電気工業),増田 泰人(住友電気工業),奥田 泰弘(住友電気工業),橋田 昌樹(京都大学),清水 政二(京都大学),阪部周二 (京都大学)

著者名(英語): Hidehiko Mishima(Sumitomo Electric Industries),Yasuhito Masuda(Sumitomo Electric Industries),Yasuhiro 0kuda(Sumitomo Electric Industries),Masaki Hashida(Kyoto University),Seiji Shimizu(Kyoto University),Shuji Sakabe(Kyoto University)

キーワード: ポリテトラフルオロエチレン|フェムト秒レーザーアブレーション|飛行時間型質量分析器|アブレーション閥値

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 727 Kバイト