レーザー誘起背面湿式加工法による石英ガラスの表面微細加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD05009

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Surface micro-structuring of silica glass by laser-induced backside wet etching

著者名: 新納 弘之(産業技術総合研究所 光技術研究部門),川口 喜三(産業技術総合研究所 光技術研究部門),佐藤正健 (産業技術総合研究所 光技術研究部門),奈良崎 愛子(産業技術総合研究所 光技術研究部門),黒崎 諒三(産業技術総合研究所 光技術研究部門)

著者名(英語): Hiroyuki Niino(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Yoshizo Kawaguchi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Tadatake Sato(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Aiko Narazaki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Ryozo Kurosaki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI))

キーワード: 石英ガラス|表面微細加工|エキシマレーザー|全団体UVレーザー|アブレーション|メカニズム

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 727 Kバイト