CO2レーザ生成プラズマからの極端紫外光の発光特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD05011

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2005/09/09

タイトル(英語): Characteristics of Extreme Ultraviolet Emission from CO2 Laser-Produced Plasma

著者名: 高橋 昭彦(九州大学),田中 博樹(九州大学),松本 篤史(九州大学),橋本 祐樹(九州大学),岡田 龍雄(九州大学)

著者名(英語): Akihiko Takahashi(Kyushu University),Hiroki Tanaka(Kyushu University),Atsushi Matsumoto(Kyushu University),Yuuki Hashimoto(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)

キーワード: 極端紫外光|EUV|リソグラフィー|レーザ生成プラズマ|CO2レーザ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 701 Kバイト