ガスクラスターイオンの表面衝突プロセスとその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD05017

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2005/09/09

タイトル(英語): Impact Process and Applications of Gas Cluster Ion Beams

著者名: 能勢 智之(兵庫県立大学工学研究科),持地広造 (兵庫県立大学工学研究科),三田村 徹(兵庫県立大学工学研究科),豊田 紀章(兵庫県立大学高度産業科学技術研究所),山田 公(兵庫県立大学高度産業科学技術研究所)

著者名(英語): Tomoyuki Nose(Graduate school of engineering,University of Hyogo),Kozo Momoji(Graduate school of engineering,University of Hyogo),Toru Mitamura(Graduate school of engineering,University of Hyogo),Noriaki Toyoda(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,University of Hyogo),Isao Yamada(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,University of Hyogo)

キーワード: クラスターイオン|表面平坦化|低エネルギー|光学薄膜

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 895 Kバイト