波長可変型LIGAプロセス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD05019

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2005/09/09

タイトル(英語): LIGA Process using Energy Variable Synchrotron Radiation

著者名: 浮田 芳昭(兵庫県立大学),内海 裕一(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yoshiaki Ukita(University of Hyogo),Yuichi Utsumi(University of Hyogo)

キーワード: LIGAプロセス|ディープⅩ線リソグラフィー|放射光|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 834 Kバイト