keV領域軟X線高効率多層膜回折格子の開発とその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD08034

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会

発行日: 2008/05/07

タイトル(英語): Development and Applications of Soft X-ray Multilayer Gratings in the keV region

著者名: 小池 雅人(原子力機構),今園 孝志(原子力機構),川添 忠(東京大学),大津元一 (東京大学),佐野 一雄(島津エミット)

著者名(英語): Masato Koike(Japan Atomic Energy Agency),Takashi Imazono(Japan Atomic Energy Agency),Tadashi Kawazoe(Univ. of Tokyo),Motoichi Ohtsu(Univ. of Tokyo),Kazuo Sano(Shimadzu Emit Co. Ltd.)

キーワード: 回折格子|多層膜|回折効率|軟X線分光器|近接場光|軟X線発光分光|リソグラフィ|分解能|Diffraction grating|multilayer|diffraction efficiency|soft X-ray spectrometer|optical near field|soft X-raye mission spectroscopy|lithography|resolving power

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 726 Kバイト