高繰り返しレーザープラズマ軟X線源の研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD09044

グループ名: 【C】電子･情報･システム部門　光･量子デバイス研究会

発行日: 2009/05/07

タイトル(英語): Laser Plasma Soft X-ray Source with High-Repetition Rate Pulse

著者名: 天野 壮(兵庫県立大),増田 和也(兵庫県立大),井上 智章(兵庫県立大),宮本 修治(兵庫県立大),望月孝晏 (兵庫県立大)

著者名(英語): Sho Amano(University of Hyogo),Kazuya Masuda(University of Hyogo),Tomoaki Inoue(University of Hyogo),Shuji Miyamoto(University of Hyogo),Takayasu Mochizuki(University of Hyogo)

キーワード: レーザープラズマX線|極端紫外線|クライオキセノン|回転ドラム|連続供給|高繰り返しレーザー|X線ミラー|デブリ|アルゴンバッファガス|laser plasma X-ray|EUV|cryogenic Xe|rotating drum|continuous supply|high rep.rate laser|X-ray mirror|plasma debris|Ar buffer gas

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 617 Kバイト