レーザ生成プラズマEUV光による透明材料の直接加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD09046

グループ名: 【C】電子･情報･システム部門　光･量子デバイス研究会

発行日: 2009/05/07

タイトル(英語): Direct micromachining of transparent materials using EUV radiation from laser produced plasma

著者名: 高橋 昭彦(九州大学),岡崎 功太(九州大学),中村 大輔(九州大学),岡田 龍雄(九州大学),鳥居 周一(筑波大学),牧村 哲也(筑波大学),村上 浩一(筑波大学),新納 弘之(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Akihiko Takahashi(Kyushu University),Kouta Okazaki(Kyushu University),Daisuke Nakamura(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University),Shuichi Torii(University of Tsukuba),Tetsuya Makimura(University of Tsukuba),Kouichi Murakami(University of Tsukuba),Hiroyuki Niiro(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: EUV光|軟X線|透明材料|微細加工|レーザ生成プラズマ|シリカガラス|Extreme ultraviolet|Soft X-ray|Transparent materials|Micromachining|Laser-produced plasma|Silica glass

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 576 Kバイト