機能性ダイヤモンドライクカーボン薄膜の光電子分光による評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD09058

グループ名: 【C】電子･情報･システム部門　光･量子デバイス研究会

発行日: 2009/05/07

タイトル(英語): Characterization of the Diamond-like Cabon Thin Films Using Photoelectron Spectroscopy.

著者名: 春山 雄一(兵庫県立大学),松井 真二(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yuichi Haruyama(University of Hyogo),Shinji Matsui(University of Hyogo)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|DLC|薄膜|光電子分光|C 1s内殻準位|価電子帯|Diamond-like carbon|DLC|thin film|photoelectron spectroscopy|C 1s core-level|valence band

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 634 Kバイト