レーザーアブレーションを利用した積層構造ZnOナノワイヤの作製と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD10018

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Synthesis and evaluation of ZnO nanowire layered structures by laser ablation

著者名: 中村 大輔(九州大学),松本 隆文(九州大学),久米田 章夫(九州大学),岡崎 功太(九州大学),東畠 三洋(九州大学),岡田 龍雄(九州大学)

著者名(英語): Nakamura Daisuke(Kyushu University),Matsumoto Takafumi(Kyushu University),Kumeda Akio(Kyushu University),Okazaki Kota(Kyushu University),Higashihata Mitsuhiro(Kyushu University),Okada Tatsuo(Kyushu University)

キーワード: ＺｎＯ|ナノワイヤ|薄膜|ＰＬＤ|積層構造|ZnO|nanowire|film|PLD|layered structure

要約(日本語): 本研究では，独自に開発してきたナノ微粒子支援レーザー堆積法にマルチターゲット切替システムを導入し，積層構造ZnOナノワイヤの作製を行なった．本システムではZnOナノワイヤ作製過程において作製条件を乱すことなく即座にターゲットの切替が可能であるため，様々な層構造ZnOナノ構造体の作製が期待できる．作製したZnOナノ構造体の評価に関して，走査型電子顕微鏡による観察，PL測定等の光特性の調査を行なった．

要約(英語): In this paper, we describe progresses of synthesis of ZnO nanowire layered structure by laser ablation using a multi-target changer system. In the use of the multi-target changer system, ZnO source targets can be changed without disturbing chamber condition during synthesis of ZnO nanowires.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,156 Kバイト