PLD 法における TiO2 プラズマプルームの挙動解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD10019

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Dynamic Behaviors of TiO2 Plasma Plume under PLD

著者名: 坂東 孝彦(東京理科大学),山下 正文(東京理科大学)

著者名(英語): Takahiko Bando(Tokyo University of Science),Masafumi Yamashita(Tokyo University of Science)

キーワード: レーザーアブレーション|プラズマプルーム|酸化チタン|薄膜|ＣＣＤ　カメラ|lpulsed aser ablation|plasma plume|TiO2|thin film|CCD camera

要約(日本語): Nd:YAGレーザーを用いたPLD法によるTiO2薄膜作製にはプラズマプルームの挙動が大きく影響する。本研究は時間分解能0.25μsの画像取り込み法を用い、プラズマプルーム挙動解析を行った。プラズマの伝播は、Dragモデルとほぼ一致し、指数関数的に拡散していくことを明らかにした。

要約(英語): Dynamic Behaviors of TiO2 plusma plume have been studied by fast photography with a gated CCD camera with time resolution 0.25 μs and by optical emission spectroscopy under ambient oxygen pressures.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 832 Kバイト