極端紫外光源を用いた光脱離質量分析装置の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD10054

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2010/12/03

タイトル(英語): Photo-stimulated desorption spectrometer using extreme ultraviolet radiations

著者名: 加来 昌典(宮崎大学),甲藤 正人(宮崎大学),横谷 篤至(宮崎大学),窪寺 昌一(宮崎大学),佐々木 亘(株式会社　NTP),宮林 延良(電子科学株式儀会社)

著者名(英語): Kaku Masanori(University of Miyazaki),Katto Masahito(University of Miyazaki),Yokotani Atsushi(University of Miyazaki),Kubodera shoichi(University of Miyazaki),Sasaki Wataru(NTP,Inc.),Miyabayashi Nobuyoshi(ESCO,Ltd.)

キーワード: 光脱離|質量分析|表面分析|極端紫外光|Photon-stimulated desorption|Mass spectroscopy|Surface analysis|Extreme ultraviolet radiation

要約(日本語): 紫外から極端紫外域の光を物質に照射することによって誘起される光脱離現象を利用した光脱離質量分析装置の開発を行っている．この波長域の光は物質に対する吸収が非常に大きく，試料の極表面のみを測定することが可能である．本稿では，レーザー生成アルゴンプラズマからの真空紫外光を用いた光脱離質量分析装置の試作機の製作，および固体媒質を用いたレーザー生成プラズマ光源の極端紫外域への波長域の拡大について述べる．

要約(英語): We have developed a Photon-stimulated desorption spectrometer, as a new surface analysis tool. The system uses laser-produced argon-plasma emissions as a continuous VUV radiation source. Using the PSDS, we have detected differences of mass spectra among plastic samples. The wavelength of a laser-produced plasma source was extended to the EUV region by using solid metal targets.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,399 Kバイト