トップダウン的手法による超微細構造の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD11006

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2011/03/04

タイトル(英語): Generation of superfine structure by topdown technique

著者名: 中田 芳樹(大阪大学),桃尾 一馬(大阪大学),廣本 拓也(大阪大学),宮永 憲明(大阪大学)

著者名(英語): Nakata Yoshiki(Osaka university),Momoo Kazuma(Osaka university),Hiromoto Takuya(Osaka university),Miyanaga Noriaki(Osaka university)

キーワード: フェムト秒レーザー|干渉加工|ナノマテリアル|多重周期構造|倍密度構造|デザイン構造|femtosecond laser|interfering processing|nanomaterial|duplicated structure|double density structure|designed structure

要約(日本語): フェムト秒レーザー加工の応用は多岐に渡るが，特にナノテクノロジーとの関連が深い。本論文では、干渉したフェムト秒レーザーで金属薄膜を加工する際に形成される独特のナノ形状を紹介する。加工条件を変えることで、ナノバンプ、ナノウォータードロップ、ナノウィスカー、ナノクラウン、多重周期構造、複雑な紋様構造などが形成される。ナノウィスカーの頂点曲率半径は6nmであり、極端に鋭利でアスペクト比の高い構造は数々の応用が考えられる。

要約(英語): New nanomaterials were generated from metallic thin films using interfering femtosecond laser processing. They are nanobump, nano-waterdrop, nano-whisker, nanocrown, duplicated structure, and designed structure. 3D structures are generated by liquid process and freeze of solute metal. Some of them have superfine structure, for example, the curvature radius of the top of a nano-whisker was 6nm.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 823 Kバイト