酸化亜鉛ナノワイヤ成長制御へのレーザプロセスの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD14011

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2014/03/07

タイトル(英語): Application of laser processing to growth control of ZnO nanocrystals

著者名: 下垣 哲也(九州大学),山崎 恒太(九州大学),川原 裕貴(九州大学),中尾 しほみ(九州大学),原田 浩輔(九州大学),東畠 三洋(九州大学),池上 浩(九州大学),中田 芳樹(大阪大学),中村 大輔(九州大学),岡田 龍雄(九州大学)

著者名(英語): Tetsuya Shimogaki(Kyushu University),Kota Yamasaki(Kyushu University),Hirotaka Kawahara(Kyushu University),Shihomi Nakao(Kyushu University),Kosuke Harada(Kyushu University),Mitsuhiro Higashihata(Kyushu University),Hiroshi Ikenoue(Kyushu University),Yoshiki Nakata(Osaka University),Daisuke Nakamura(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)

キーワード: 酸化亜鉛|ナノ結晶|レーザーアニール|レーザーアブレーション|結晶成長制御|四光束干渉レーザー|ZnO|nanocrystals|laser annealing|laser ablation|crystal growth control|four-beams interference laser

要約(日本語): 酸化亜鉛(ZnO)のナノ結晶体は、その形状や微細構造によって特徴付けられるユニークな酸化物半導体である。我々はZnOのナノ結晶を作製する方法としてナノ微粒子支援レーザ堆積法を確立しており、現在はナノ結晶の光デバイスへの応用を目指した研究を行っている。本講演では、ZnOナノ結晶のバッファ層へのレーザ照射によるZnOナノ結晶の成長制御について報告し、それを通してZnOナノ結晶の成長原理についての考察を行う。

要約(英語): ZnO nanocrystals, which are characterized by their configurations, fine structures, are unique oxide semiconductors. We had established the nanoparticle-assisted pulsed laser deposition as a fabrication process, therefore we have been studying about its application to optical devices. In this reports, it will be reported that growth controllability of ZnO nanocrystals by irradiating pulsed laser to ZnO buffer layer and the growth mechanism of ZnO nanocrystals.

原稿種別: 日本語

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