フッ素レーザを用いた鉄薄膜表面へのFe3O4酸化改質層の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD14014

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2014/03/07

タイトル(英語): Formation of Fe3O4 modified layer onto iron thin films using fluorine laser

著者名: 大越 昌幸(防衛大学校),粟飯原 雄太(防衛大学校),山下 嗣人(関東学院大学),井上 成美(防衛大学校)

著者名(英語): Masayuki Okoshi(National Defense Academy),Yuta Awaihara(National Defense Academy),Tsugito Yamashita(Kanto Gakuin University),Narumi Inoue(National Defense Academy)

キーワード: フッ素レーザ|鉄薄膜|Ｆｅ３Ｏ４|耐食性|Fluorine laser|Iron thin film|Fe3O4|Corrosion resistance

要約(日本語): 本研究では，波長157 nmのフッ素レーザを用いて，鉄薄膜の表面に，緻密で極薄いFe3O4酸化改質層を位置選択的に形成して，疑似海水中においても高い耐食性が発現できる新規レーザ表面改質法を確立した．レーザ照射により，厚さ約0.6 nmのFe2O3自然酸化層の下に，約2 nm厚のFe3O4酸化改質層が形成していることを見出した．3 wt%のNaCl水溶液（疑似海水）中でのアノード分極測定により，改質試料の高い耐食性が示された．また，改質試料を擬似海水中に48 h浸漬しても，錆び発生は認められなかった．さらに，本手法と化学エッチングとの組み合わせにより，鉄薄膜のマイクロパターニングも可能となった．

要約(英語): Rust proof, chemical resistant pure iron thin films were successfully fabricated by the 157 nm F2 laser induced surface modification of 50 nm thick iron thin films. An approximately 2 nm thick Fe3O4 layer underneath a native oxide layer of Fe2O3 approximately 0.6 nm in thickness was formed on the iron thin films after F2 laser irradiation. The anodic polarization measurement in a 3 wt% NaCl aqueous solution, quasi-seawater, was conducted; the F2 laser irradiated samples showed high corrosion resistance to the quasi-seawater.

原稿種別: 日本語

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