紫外フェムト秒レーザー干渉加工技術の進展

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD15015

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2015/03/06

タイトル(英語): Progress on interfering ultraviolet femtosecond laser processing technique

著者名: 中田 芳樹(大阪大学),川崎 翼(大阪大学),松葉 良生(大阪大学),宮永 憲明(大阪大学)

著者名(英語): Yoshiki Nakata(Osaka University),Tsubasa Kawasaki(Osaka University),Yoshiki Matsuba(Osaka University),Noriaki Miyanaga(Osaka University)

キーワード: フェムト秒レーザー|紫外|干渉|レーザープロセシング|メタマテリアル|ｍｅｔａｌｌｉｃ　ｈｏｌｅ　ａｒｒａｙ|femtosecond laser |ultra-violet|interference|laser processing|metamaterial|metallic hole array

要約(日本語): 本論文では，紫外フェムト秒レーザーを用いた干渉加工について、装置構成及び金属薄膜等を加工した結果について報告する。

要約(英語): Experimental of material processing by interfering ultraviolet femtosecond laser and application to metallic thin film processing will be reported.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,268 Kバイト