高空間分解能・高再現性を実現する近接場光計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD15028

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): High spatial resolution and high repeatability near-field optical measurement

著者名: 立崎 武弘(東海大学)

著者名(英語): Takehiro Tachizaki(Tokai University)

キーワード: 走査型近接場光顕微鏡|カーボンナノチューブ|ＦＤＴＤ|Near-field scanning optical microscope|Carbon nanotube|FDTD

要約(日本語): 高い測定再現性を有するナノ分解能光計測を実現するために、近接場光計測の技術研究を行った。近接場―近接場結合によるカーボンナノチューブ先端への極小光スポットの励起原理を理論的に確認した。また、実証実験によって、3.0 nmの空間分解能と1.0 nmの測定再現性を確認した。そして、これらの結果を踏まえて実施したプローブ構造の検討により、さらなる高効率計測の可能性を得た。

要約(英語): We studied near-field scanning optical microscope to achieve high spatial resolution and high repeatability optical measurement. Numerical simulations confirmed the principle of nanometer optical spot generation by means of the near-field to near-field coupling method. Demonstration experiments showed 3.0 nm spatial resolution and 1.0 nm measurement repeatability. Advanced design about optical probe gave the possibility of further progress of near-field optical measurements with higher efficiency.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 984 Kバイト