レーザープラズマ極端紫外光によるマイクロ加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD16035

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2016/03/30

タイトル(英語): Micromachining using laser plasma EUV raidations

著者名: 牧村 哲也(筑波大学),浦井 ひかり(筑波大学)

著者名(英語): Tetsuya Makimura(University of Tsukuba),Hikari Urai(University of Tsukuba)

キーワード: レーザープラズマ|マイクロ加工|シリコーン|シリカガラス|アクリル樹脂|極端紫外光|laser plasma|microfabrication|PDMS|silica glass|PMMA|extreme ultraviolet radiation

要約(日本語): 高いパワー密度のレーザープラズマ極端紫外光照射装置を開発し、バイオメディカル応用に有用な材料のマイクロメートルスケールでの微細加工を確立した。

要約(英語): We have developed a micromachining technique for fabricating micrometer-scaled structures that can be applied to bio-medical applications.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,035 Kバイト