ガスクラスターイオンによるナノ・マイクロ構造形成と有機・バイオ材料への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD16036

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2016/03/30

タイトル(英語): Nano-micro structure formation with gas cluster ion beam and applications for organic and bio-materials

著者名: 豊田 紀章(兵庫県立大学)

著者名(英語): Noriaki Toyoda(University of Hyogo)

キーワード: ガスクラスターイオン|ナノ加工|低損傷|有機材料|バイオ材料|gas cluster ion|nano fabrication|low damage|organic materials|bio materials

要約(日本語): 数千個のガスが集団となったガスクラスターイオンは、数eV程度の超低エネルギー照射かつ表面への高密度エネルギー付与が可能なため、従来の無機材料だけでなく、有機材料の低損傷・高効率加工や、高精度表面分析への応用が広がっている。本講演では、ガスクラスターイオンの特長を利用したナノ・マイクロ構造形成と、有機・バイオ材料への応用について紹介する。

要約(英語): Gas cluster ion beam (GCIB) exhibits both low-energy ion irradiation and dense energy deposition at the same time, which realize low-damage and efficient nano-fabrications. In this presentation, applications of GCIB on nano structure formations will be introduced together with recent application of GCIB for organic or bio-materials.

原稿種別: 日本語

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