回折光学素子対によるフェムト秒レーザーパルスビーム配列生成ならびに集光特性の評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD16078

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2016/09/20

タイトル(英語): Characterization of femtosecond laser pulses split and focused by a pair of diffractive optical elements

著者名: 中野 秀俊(東洋大学),尼子 淳(東洋大学)

著者名(英語): Hidetoshi Nakano(Toyo University),Jun Amako(Toyo University)

キーワード: フェムト秒レーザーパルス|回折光学素子|femtosecond laser pulses|diffractive optical elements

要約(日本語): フェムト秒レーザー技術と回折光学素子によるビームアレイ生成技術を組み合わせることにより、高スループットナノマイクロ加工技術の実現が期待される。筆者らは、回折光学素子によって超短パルスレーザー光から分岐されたビームに生じる時空間歪みの補償技術の確立を目指している。本稿では，回折ビームスプリッタと回折レンズによるフェムト秒レーザーパルス集光特性をモデル計算と実験の両側面から調べた結果を報告する。

要約(英語): We have characterized split and focused 20-fs laser pulses by using a combination of a diffractive beam splitter and a diffractive lens. It was confirmed that split beams in the focal plane have almost the same focal images and the similar pulse durations.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,599 Kバイト