（招待講演）電子線検出によるイオン分布の高分解能イメージング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD18076

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2018/12/21

タイトル(英語): (Invited)High resolution imaging of ion distribution by electron beam detection

著者名: 居波 渉(静岡大学),新井 清久(静岡大学),川田 善正(静岡大学)

著者名(英語): Wataru Inami(Shizuoka University),Kiyohisa Nii(Shizuoka University),Yoshimasa Kawata(Shizuoka University)

キーワード: 化学センサー|イオンイメージング|高分解能|chemical sensor|ion imaging|high resolution

要約(日本語): 我々は、高い空間分解能を有する電子ビーム検出型のイオン分布イメージングシステムを開発している。これまでのイオン分布イメージングセンサの空間分解能は、光の回折限界や微細加工技術の限界によって制限されている。そこで、我々は、光の代わりに収束電子ビームを用いたイオンセンサを提案した。電子ビームは数ナノメートルのスポットに容易に集束することができるため、数十ナノメートルの領域のイオン濃度を測定できる。

要約(英語): We have developed a high spatial resolution ion imaging system using electron beam detection. Since the electron beam can be easily focused to a small spot, the ion concentration in the region of several tens of nanometers can be measured.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 838 Kバイト