干渉パターン加工法の近年の進展

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD19011

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2019/03/29

タイトル(英語): Progress on Interference Femtosecond Laser Processing Technique

著者名: 中田 芳樹(大阪大学),小坂 悠起(大阪大学),林 英輝(大阪大学),斉藤 哲也(大阪大学),宮永 憲明(レーザー技術総合研究所),大澤 一仁(村田製作所),吉田 匡孝(大阪ガス),奈良崎 愛子(産業技術総合研究所),東海林 竜也(大阪市立大学),坪井 泰之(大阪市立大)

著者名(英語): Yoshiki Nakata(Osaka University),Yuki Kosaka(Osaka University),Eiki Hayashi(Osaka University),Tetsuya Saito(Osaka University),Noriaki Miyanaga(Institute for Laser Technology),Kazuhito Osawa(Murata Manufacturing Company, Ltd.),Masataka Yoshida(Osaka Gas Co., Ltd.),Aiko Narazaki(AIST),Tatsuya Shoji(OCU),Yasuyuki Tsuboi(OCU)

キーワード: レーザー加工|干渉パターン|ビーム整形|周期構造|カイラル構造|ナノ構造|laser processing|interference pattern|beam shaping|periodic structure|chiral structure|nano structure

要約(日本語): 我々は、レーザーの干渉パターン加工を用いた様々な周期配列ナノ・マイクロ構造の作製及び応用に関する研究を進めている。本発表では、ビーム整形及びカイラル構造形成などに関する近年の進展について報告する。

要約(英語): We have investigated the fabrication of a variety of nano- and micro- structure in lattice and its applications. In this presentation, we report the recent progress such as beam shaping and fabrication of chiral structure.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,763 Kバイト