周期構造医療デバイス作製のための全固体深紫外コヒレント光源による二光束干渉露光技術

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD19032

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2019/08/24

タイトル(英語): Two-beam interference exposure technique with all-solid deep-ultraviolet coherent light source for fabrication of periodic structure medical devices

著者名: 熊谷 寛(北里大学),志村 広大(北里大学),武田 俊(北里大学),小菅 智裕(北里大学),小川 恵美悠(北里大学),稻岡 秀檢(北里大学),丑田 公規(北里大学)

著者名(英語): Hiroshi Kumagai(Kitasato University),Kouta Shimura(Kitasato University),Shun Takeda(Kitasato University),Tomohiro Kosuge(Kitasato University),Emiyu Ogawa(Kitasato University),Shuken Inaoka(Kitasato University),Kiminori Ushida(Kitasato University)

キーワード: 周期構造|医療デバイス|全固体|深紫外|コヒレント|二光束干渉露光|Periodic structure|medical devices|all-solid|deep-ultraviolet|coherent|two-beam interference exposure

要約(日本語): FBGセンサなどの周期構造デバイスが、血圧、脈拍数、血糖値などのバイタルサイン計測に注目を集めている。同構造は従来エキシマレーザーなどで作製されてきたが、エキシマレーザーから全固体深紫外コヒレント光源に置き換えることができれば、医療デバイス作製の安全性が一段と高まる。本研究では、可干渉性の高い深紫外コヒレント光による二光束干渉露光で周期構造デバイスの作製の可能性を探る。

要約(英語): Periodic structure devices such as FBG sensors have attracted attention for vital sign measurements such as blood pressure, pulse rate, and blood glucose levels. The same structure has conventionally been produced by using an excimer laser or the like, but if the excimer laser can be replaced by an all solid deep ultraviolet coherent light source, the safety of medical device production is further enhanced. In this study, we explore the possibility of fabrication of periodic structure devices by two-beam interference exposure with highly coherent deep UV coherent light.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,218 Kバイト