pnダイオード温度センサのMEMS型真空センサへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): An Application of pn Diode Temperature Sensor to the Measurement of Vacuum pressure

著者名: 寺田 知之(メムス・コア),桜井 史敏(メムス・コア),太田 平雄(メムス・コア),宮川 久行(メムス・コア),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Tomoyuki terada(MEME-CORE Co.,Ltd.),Fumitoshi Sakurai(MEME-CORE Co.,Ltd.),Hirao Ohta(MEME-CORE Co.,Ltd.),Hisayuki Miyakawa(MEME-CORE Co.,Ltd.),Mitsuteru Kimura(Tohoku-Gakuin University)

キーワード: ｐｎ接合|マイクロヒータ|エアーブリッジ|圧力センサ|温度センサ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 974 Kバイト