バルクPZTジャイロの動作解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Operation Analysis of Bulk-PZT Gyroscope

著者名: 小原弘士 (兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Hiroshi Kohara(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: ジャイロスコープ|MEMS|バルクPZT|縦振動

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 866 Kバイト