MEMS試作を指向したDMDダイレクト露光装置とその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Direct and Maskless Exposure System for MEMS Fabrication

著者名: 前中一介 (兵庫県立大学),千木 慶隆(ユメックス),井奥 淳(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Yoshitaka Chigi(Yumex),Sunao Ioku(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|DMD|露光機|マスクレス|ハーフトーンリソグラフィ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,274 Kバイト