初期検出ギャップ調整機能を有する容量型加速度センサの基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Feasibility Study on a Variable Initial Gap Accelerometer(VGA)

著者名: 番 政広(三菱電機),藤田 淳(三菱電機),武田 宗久(三菱電機),春田 健雄(三菱プレシジョン),三田 信(宇宙航空研究開発機構)

著者名(英語): Masahiro Tsugai(Mitsubishi Electric Corp.),Jun Fujita(Mitsubishi Electric Corp.),Munehisa Takeda(Mitsubishi Electric Corp.),Kenyu Haruta(Mitsubishi Precision Co.,LTD),Makoto Mita(Japan Aerospace Exploration Agency)

キーワード: 高精度容量型加速度センサ|可変検出ギャップ|コウムアクチュエータ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 823 Kバイト