集積型エンコーダの開発：間隙不感型光学系の設計とセンサの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Development of integrated optical encoder:Optical design for gap-insensitive encoder and sensor fabrication

著者名: 崔峯碩 (東北大学),金森義明 (東北大学),羽根一博 (東北大学)

著者名(英語): BS.Choi (Tohoku University),Y.Kanamori (Tohoku University),K.Hane (Tohoku University)

キーワード: 光エンコーダ|グレーティング|フォトダイオード

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 781 Kバイト